第三百二十四章 浸入式（2 / 2）

“部长，检查结果出来了。”永山绚斗脸色阴晴不定的拿着一张纸，摆在了白石茉莉奈的面前。

她捋了捋额前的头发，拿起那一页纸迅速的找到了相关的数据。当看到那个数字的时候，顿时忍不住长大了她的嘴。

“你们确定检测结果没有错？”白石茉莉奈一脸震惊的看着永山绚斗，下意识的问道。

“这已经是第三遍测试了，我们换了三组测试人员和设备，得到的都是这个结果。”永山绚斗慎重的点了点头，看向白石茉莉奈说道：“如果这样的结果还不可信，那就只有把样品送回国内去检测了。”

白石茉莉奈抚着眉毛，按了两下说道：“那就把样品尽快送回国内去，不管检测结果是否准确，国内肯定要自己再测一次才能相信。”

她把手里的纸扔会桌面上，叹了口气看向永山绚斗说道：“永山君，换成你，你能相信吗？中国人刚刚突破了0.5微米工艺，咱们的成套技术还没有消化完，现在就已经能够生产0.35微米工艺的芯片了？”

“会不会……”永山绚斗想了想，试探的问道：“是中国人委托代工的结果？毕竟之前华晶招标，咱们可是刚被摆了一道。”

“这也不是不可能。”白石茉莉奈想了想，艰难的点头道：“但是0.35微米工艺已经是目前最先进的技术了，全世界在使用这种工艺的代工厂可是没有几家。以尼康在业界的地位，想查明是很简单的事情。在这种地方花小心思，不会有什么作用。”

“这么说，泛翰集团是真的能做的0.35微米工艺了。”永山绚斗脸上难看的要死，实在是想不出来为何会有这种可能：“这从他们自称掌握0.5微米工艺之后，到现在不过三四个月的时间。就算那时候开始有现成的成套技术给他们消化，到现在也不可能出成果啊。”

“未必。”白石茉莉奈目光中炯炯有神，浑不似一夜没睡的样子：“你想想看，中国人的中科院刚刚完成了0.8微米工艺技术的开发，不到一个月泛翰集团就拿出了0.5微米工艺光刻机。这次也是，拿到我们尼康0.5微米光刻机之后，不到一个月就又拿出了0.35微米技术。”

白石茉莉奈抬头看向永山绚斗，玩味的问道：“从这两个结果来看，你有什么想法？”

永山绚斗皱着眉头，在实验室里渡着步。半晌时间之后，他才深呼出一口气，看向白石茉莉奈说道：“部长的意思是，泛翰集团掌握了一种能够直接把光刻机工艺提升一代的技术？这种技术应该不是现行光刻机体系内的，而且应该是很容易就能实现的技术。”

这对永山绚斗来说，实在是一个很难下的结论。这不仅说明尼康对中国大陆的技术封锁，从此化为泡影。而且更为严重的是，这条新的技术路线，是否具有继续升级的潜质？美日欧对于光刻机的技术，向来是不吝于投入的。这也造成了在各个技术指标上，光刻机都处于极度开发的状态。

在这种状态下，想要再进一步，真的就要百尺竿头才行。如果有一种新的减小线宽的手段，那它的可提升空间可就太大了。

“从泛翰集团这两次提高的芯片线宽来看，我觉得他们掌握的很有可能是浸入式光刻技术。”白石茉莉奈敲了敲桌子，若有所思的说道：“从对泛翰集团出产的u盘芯片研究，和这次的芯片的准确线宽测量上，我们得到的数值基本符合纯水1.4的折射率。”

“可是，浸入式光刻技术需要解决的问题有很多。”永山绚斗下意识的反驳道：“隔水光刻胶，空气排出和光源。浸入式技术早在八十年代就有人提了出来，但是一直没有进入实际应用就是因为它需要克服的问题太多。”

“总之，先把芯片送回国内去做个测试吧。”白石茉莉奈摇了摇头，站起身来说道。

如果泛翰集团真的掌握了浸入式光刻技术……

白石茉莉奈晃了晃头，几乎不敢想象这一点将对整个世界的电子产业布局产生什么样的影响。唯一能够肯定的是，尼康内部一定会为此掀起滔天巨浪。唯一的好处就是，她的失职恐怕不会再有人去追究了。和浸入式技术比起来，纳米光栅技术在尼康看来根本不值一提。